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实验室CVD系统:多路混气系统+真空系统

  • 品牌:SGM
  • 别称:实验室CVD系统
  • 类型:高温管式炉
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    实验室CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统组成,实验室CVD系统采用常规管式炉配合相应的流量控制系统和配套真空泵实 现整套的气相沉积系统,加热可选 择1200℃、1400℃、1700℃各种温区管式炉,气体配置可选1路、2路、3路、5路浮子流量计或质量流量计,真空系统可以选择0.5-8升机械泵、扩散泵、分子泵机组。真空度可达10-5PA。洛阳西格马可生产四通道双温区cvd系统、炉膛可移动式CVD、PECVD系统设备。

    CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,实验室CVD系统包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
     

    炉膛可移动式CVD介绍:

    炉膛可移动式CVD系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。

    炉膛可移动式CVD技术参数:

    CVD名称

    1200℃双管滑道式CVD系统

    电炉名称 炉膛可移动式双管管式炉

    炉管尺寸

    双石英管

    外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

    内管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

    加热区

    220+220mm

    供电电源

    230V,单相,50HZ

    功率

    4.0 kw

    加热元件

    电阻丝

    升温速率

    0-20°C/min

    热电偶

     K型

    水冷系统

    1.水冷机 CW-3000

    2.水冷,密封双管的真空法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

    真空系统

    1. 防腐数显真空计   

    2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含挡板阀 KF25接口,波纹管和箱体

    双路流量计混气系统(可选质子流量计或浮子流量计)

    CVD化学气相沉积系统质量流量控制器技术参数

    名称

    双通道

    三通道

    四通道

    五通道

    CVD化学气相沉积系统
    多通道质量流量控制

    工作温度:5~45ºC
    额定压力:3x106 Pa
    精度: ±1.5% FS
    线性:±(0.5-1.5)%F.S

    重复精度: ±0.2%F.S.
    流量范围:
    一路:1~199 SCCM
    二路:1~499 SCCM
    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度:5~45 ºC
    额定压力:3x106 Pa
    精度:±1.5% FS
    线性:±(0.5-1.5)%F.S
    重复精度:±0.2%F.S.
    流量范围:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM 
    三路: 1~499 SCCM 
    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度:5~45 ºC
    额定压力:3x106 Pa
    精度:±1.5% FS
    线性:±(0.5-1.5)%F.S.

    重复精度: ±0.2%F.S.
    流量范围:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM
    三路: 1~199 SCCM
    四路: 1~499 SCCM
    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度: 5~45 ºC
    额定压力:3x106 Pa
    精度:±1.5% FS
    线性:±(0.5-1.5)%F.S.
    重复精度: ±0.2%F.S.
    流量范围:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM
    三路: 1~199 SCCM
    四路: 1~499 SCCM
    五-九路可按照客户要求定制

    输入电源

     AC 220V/50Hz单相

    功率

      23W

    PLC触摸屏

    CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统各通道的气路设定和查看都集中在触摸屏上 

    机械压力表

    有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

     量程:-0.1~0.15 MPa 

    针阀

    316 不锈钢

    通气管道

    内部连接管道为Φ不锈钢管 

    外部通气管道为Φ聚四氟管

    混气罐

    Φ80X120mm

    截止阀及配件

    ·316不锈钢针阀 

     Φ6mm 不锈钢管

    外形尺寸

     600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

    质量认证

    CE认证

    质保期

    一年质保期,终身维护


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