小型石墨烯制备设备双温区滑轨式CVD系统
小型双温区滑轨式CVD系统为实验室用石墨烯制备设备。小型石墨烯制备设备厂家哪个好？洛阳西格马高温电炉可生产小型双温区滑轨式CVD系统、小型滑轨式CVD系统、实验室炉膛可滑动CVD系统。
石墨烯制备设备双温区滑轨式CVD系统系统由1200度双温区滑轨炉、快速预热炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。CVD（化学气象沉积系统）常用于表面材料生长、沉积，是一款实验室常用设备。
石墨烯制备设备技术参数
| 名称 | 设备 |
小型双温区滑轨式CVD系统 Sliding rail furnace with double temperature zone |
|
S1200C-II 200D60 |
炉体结构 |
石墨烯制备设备双温区滑轨式CVD系统采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度低 炉底安装一对滑轨，可手动滑动炉体，以便满足特殊工艺的快速升降温的需求。 |
|
炉管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1600mm |
|
|
加热元件 |
Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） |
|
|
温度 |
额定温度：1200℃ |
|
|
升温速率 |
≦10℃/min（推荐） |
|
|
加热区长度度 |
两个加热区的长度都是200mm 分别由立的温控系统控制 |
|
|
恒温区长 |
100+100mm（±1℃） 可获得较长恒温区间 |
|
|
控温精度 |
±1℃ |
|
|
功率 |
5kW |
|
|
输入电压 |
220VAC 单相 50/60Hz |
|
|
快速连接法兰 |
Φ50快结式304不锈钢真空法兰
打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便 |
|
|
快速预热炉 |
功率 |
1kw |
|
加热区 |
100mm |
|
|
额定温度 |
1200℃ |
|
|
工作温度 |
200-800℃（可根据实际工艺需求调整） |
|
|
五路质子流量控制系统 MFC-5Z |
电压 |
220VAC 单相 50/60Hz |
|
针阀材质 |
316不锈钢 |
|
|
量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm |
|
|
工作温度 |
5～45℃ |
|
|
外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 700(H) mm |
|
|
电压 |
AC220V/50Hz单相 |
|
|
功率 |
23W |
|
|
真空系统 LVU/10 |
壳体尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
|
可达承载量 |
1000 Lbs |
|
|
抽气速率 |
10m³/h 极限真空度：10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 |
|
|
质保期 |
一年质保期，(相关耗材除外，如炉管、密封圈、加热元件等易耗件) |
|
使用注意事项
1、石墨烯制备设备的双温区滑轨式CVD系统炉管内气压不可高于0.02MPa
2、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
3、石英管的长时间使用温度＜1100℃
4、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
CVD系统生产厂家哪家好？ 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产，产品有CVD系统、高温电炉、管式电炉、箱式电炉、真空气氛炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。
售前客服