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上开门真空井式坩埚炉\小型实验坩埚炉
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上开门真空井式坩埚炉\小型实验坩埚炉

  • 系列:SGM
  • 别称:
  • 温度:
  • 规格:
  • 类型:坩埚炉
  • 咨询热线:400-600-3293
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    SGM 1200℃上开门真空井式坩埚炉是由洛阳西格马高温电炉小型实验坩埚炉。
    西格马小型真空坩埚炉集控制系统与炉膛一体,其中炉膛保温材料采用陶瓷纤维真空吸附成型,加热元件采用质硅钼棒。超大口径的石英炉腔和真空密封法兰系统,可在流动气氛和真空状态下快速加热样品。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片;也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。

    Sigma small vacuum crucible furnace integrates control system and furnace. Ceramic fiber vacuum absorption molding is used as furnace insulation material, and high-quality silicon molybdenum rod is used as heating element. The ultra large diameter quartz furnace chamber and vacuum sealing flange system can quickly heat the sample in flowing atmosphere and vacuum. It is mainly used for calcining high-purity compounds in vacuum or inert gas, annealing or diffusion of semiconductor wafers, and can also be used for baking or sintering ceramic materials.

    主要特点Main features: 

    集控制系统与炉膛为一体

    Integrated control system and furnace

    高品质惨钼铁铬铝合金作为加热元件,可加热到1100℃

    High quality Mo Fe Cr Al alloy can be heated to 1100 ℃

    炉膛保温材料采用整体真空吸附成型,节能环保

    The furnace insulation material adopts the whole vacuum adsorption molding, which is energy-saving and environmental protection

    大口径的石英炉腔和真空密封法兰系统,可以在流动气氛和真空状态下快速加热样品

    The large diameter quartz furnace chamber and vacuum sealing flange system can quickly heat the sample in flowing atmosphere and vacuum

    内置30段可编程精密数字温度控制器可控制升降温速率

    The built-in 30 segment programmable precision digital temperature controller can control the temperature rise and fall rate

    技术参数Technical Parameters

    电炉名称
    name
    上开门真空井式坩埚炉
    Vacuum well crucible furnace with front door
    开门方式
    open
    上开门


    Working Temperature

    工作温度

    Max. Temperature: 1200 °C ( 1 hr)

    额定温度:1200℃ (1小时)

    Continuous working temperature: ≤1100℃

    持续工作温度:≤1100℃

    Max. heating Rate: ≤15°C /min

    设计快升温速率:≤40℃/分

    Temperature Controller

    控温方式

    PID automatic control and auto-tune function.

    模糊PID控制和自整定调节

    30 programmable segments for precise thermal processing.

    智能化30段可编程控制

    Built-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 

    超温和断偶报警功能

    Heating Elements

    加热元件

    Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

    电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

    Temperature Accuracy

    控温精度

    +/- 1℃

    Chamber size炉膛有效尺寸

    Φ210*340mm

    Dimensions

    尺寸

    Furnace size: 510*435*425mm(L*W*H )

    炉子尺寸:510*435*425mm(长*宽*高 )

    Net Weight

    净重

    70kg

    Shipping Weight

    毛重

    100kg


    Vacuum Flange

    真空法兰

    Special designed flanges

    定制法兰

    Vacuum Pressure

    真空压力

    133torr can be achieved by mechanical pump

    机械泵可达133torr(1pa)

    10^-5 torr can be reached by molecular pump

    分子泵可达10^-5torr(10^-3pa)

    Please click the picture below to order vacuum parts

    点击下列图片订购真空部件

    前开式

    Power

    输入电源

    Power rated: 3KW

    额定功率:3KW

    Voltage

    电压

    Voltage rated:  AC220V 50/60HZ

    额定电压: AC220V 50/60HZ

    Warranty

    质保

    Two year limited warranty with lifetime support  (Such consumable parts as tO-rings, etc. are NOT supported by the warranty)

    二年质保终身支持(消耗品如O型圈等不在质保范围内)

    Warning

    注意事项

    Small cracks may appear on the surface of the refractory ceramics over extended use. This is a normal occurrence and the cracks may be repaired with alumina coating.

    在使用过程中炉膛表面可能出现细小裂纹。这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复。



    生产厂家哪家好? 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产,积累了丰富的行业经验和技术实力。产品有高温电炉、、真空气氛炉、管式电炉、箱式电炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。可根据客户需求提供个性化定制解决方案。
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