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热门关键词: RTP快速升降温退火炉

1100度RTP快速升降温退火炉\科研用RTP快速升降温退火炉

SGM 1100度开启式RTP快速升降温退火炉是由洛阳西格马高温电炉研发生产的的高性能快速热处理电阻炉,为实验室科研用rtp快速退火炉。 1100度开启式RTP快速升降温退火炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速升降温。该系列快速升降温退火炉造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,安全可靠,炉管外径100mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。
RTP快速升降温退火炉可应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。也同样适用于要求升降温速度比较快的气氛烧结、真空淬火退火及CVD等工艺实验。该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合

洛阳西格马高温电炉可生产

RTP快速升降温退火炉特点:

1、炉体采用双层风冷壳体结构,炉壳合理的角度(风冷的导向)设计能有效的保证炉壳所有表面的温度低
2、炉体操作面板合理的角度设计,让您的操作观察更加合理人性化;
3、采用真空吸附成型的高纯氧化铝纤维炉膛;表面涂有进口高温氧化铝层,可以提高加热效率且炉膛不易开裂;
4、采用红外灯管加热

5、炉管采用高纯石英或99刚玉炉管,两种材质均耐腐蚀,可承受聚冷聚热的温度变化、两端采用SUS304高真空法兰密封。

6、炉体两端安装有炉管防护网及炉管法兰支撑装置,防止两端裸漏的炉管高温烫伤及炉管高温下两端的受力过重;

7、炉管密封法兰及针型阀均采用304材质,进出气口采用通用接口,可方便客户根据不同的工艺进行接头的互换,可配合我公司的真空组、流量计、混气罐使用,可实现一机多用化;

8、采用PID温控调节,可编程30段控温程序;恒温精度±1℃;温控仪表接口丰富,可实现通讯、联机操作等功能;

9、设备具有超温、断偶报警自动断电功能,操作简单、安全可靠;

10、炉体自带超温保护及漏电保护功能,确保设备使用的安全性;

11、合理的气路支架装置,杜绝了气路总成因自身应力而造成的炉管损坏;
12、炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
13、炉体移动自动化且有滑动限位功能,避免炉体碰撞;风冷设计,使样品实现快速降温。

RTP快速升降温退火炉主要参数:

电炉名称

SGM1100-RTP快速升降温退火炉

额定温度

1100℃

长期温度

1000℃

加热元件

红外灯管

温度测量精度

±0.2℃

控温精度

±1℃

快升温速率

35℃/S(可按需定制)

降温速率

1-200℃(将试样移出加热区域或通氮气可加快降温)

温度控制

触摸屏,PID30段程序控制。

功率

12 Kw

额定电压

AC380V,50/60Hz

测温元件型号

N型热电偶

石英管规格

Φ120*900

真空度

6*10-3Pa(选配,配分子泵)

抽气端口尺寸

Φ6mm或KF40(配分子泵用KF40接口)

进气端口尺寸

Φ6mm

外形尺寸

深600*宽1520*高700

设备重量

100Kg


铝合金炉膛:铝合金水冷镀金炉膛,导热性能好,有效提高降温速率

石英炉膛:石英炉膛为可拆卸结构,当炉膛内被烟雾污染,导致升温速率降低时,可将石英炉膛拆下清洗

洛阳西格马高温电炉可根据客户需求定制各种:非标高温炉、管高温式炉、快速烧结炉、快速退火炉、快速热处理炉、真空烧结炉、焊接炉、igbt焊接炉、真空焊接炉、实验室焊接炉、真空炉、真空烤瓷炉、cvd烤盘炉、mocvd烤盘炉、扩散炉、退火炉、合金炉、交换炉、升华炉、氧化炉、气氛炉、氢气炉、cvd炉、隧道炉及工业炉专用炉体等各种工业、实验室用热处理设备。

rtp快速退火炉国外品牌有哪些?

rtp快速退火炉全称rapid thermal processing furnace,快速退火炉是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际领先的模糊PID控制,具有很高的控温精度〈±5℃〉,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。

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