1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备
SGM1200℃三温区真空管式炉CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的实验室用高温管式炉，三温区真空管式炉CVD系统具有三个温区，可以立控温，炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用电阻丝为加热元件。加热元件与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性。测温采用性能稳定、长寿命的“K”型热电偶，直接和式样接触，以提高控温的精度性。真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察。炉体的控制面板配有智能温度调节仪，控制电源开关、主加热工作/停止按钮，工作状态指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
作为专业的1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备厂家，洛阳
三温区真空管式炉CVD系统主要用途：
三温区真空管式炉CVD是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品. ，广泛用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。三温区真空管式炉CVD系统技术参数：
| 电炉名称 | 规格 | 三温区真空管式炉CVD系统 |
| 三温区真空回转炉 | 炉管尺寸 |
炉管材质：310S 尺寸：Φ245*210*750mm |
| 主要参数 |
额定温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变) 工作温度: 900℃（配套金属管为310S才是） 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度: 750mm 额定功率：7KW 电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz |
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| 炉体结构 |
采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度 保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失 内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 三个温区，可以立控温 真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动. |
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| 温控系统 |
模糊PID控制和自整定调节功能 智能化30段可编程控制 具有超温及断偶报警功能 控温精度: ±1 ℃ K型热电偶 可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购） |
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| 温控仪表（可选） | 标配仪表品牌为宇电，可指定其他品牌温控仪表，如岛电等。 | |
| 管堵 | 多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求 | |
| 密封系统 |
该设备炉管为单端封口设计，法兰安装于一端，侧开门式设计。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头） 如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购） 出气端配备磁流体密封装置，容许设备在连续真空条件下工作。 备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。 出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气 |
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| 扩展端口 | 如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头 | |
| 真空度 |
双极旋片机械泵：10^-1Pa 分子泵机组：10^-3 Pa 可选配本公司配套高低真空 |
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| 外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
| 净重 | 40Kg | |
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真空系统 LVU/10 |
壳体尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
| 额定承载量 | 1000 Lbs | |
| 抽气速率 |
10m³/h 极限真空度：10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 |
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| 质保期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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| 相关应用 |
炉膛内衬可以单更换（额外付费） 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子 |
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| 应用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） |
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CVD系统生产厂家哪家好？ 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产，产品有CVD系统、高温电炉、管式电炉、箱式电炉、真空气氛炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。
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