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热门关键词: 气相沉积炉

CVD气相沉积系统设备:1700℃气相沉积炉

CVD化学气相沉积炉由开启式单(双)温区管式炉、高真空分子泵系统、压强控制仪及多通道浮子系统或高精度数字质量流量控制系统组成。CVD化学气相沉积炉可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。
化学气相沉积CVD系统设计用于在粉末Si材料(通常用作锂电池的负极)上覆盖碳膜。通过在化学气相沉积CVD过程中旋转反应炉管,可以搅拌粉末样品,从而可以均匀沉积碳膜。


1700度管式炉



三路浮子混气系统

CVD浮子混气系统用途:

适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用

CVD浮子混气系统功能特点:

1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,*高真空可达0.0001Pa;

2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制;

3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用卡套连接,确保不漏气;

5、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。

CVD浮子混气系统主要参数

设备名称:1700℃气相沉积炉

额定温度:1700度
工作温度:≤1600℃

炉管:采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

炉管尺寸:Φ40/60/80*/1000mm

炉管配件:4个氧化铝管堵

加热元件:6根U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

升温速率:≤10℃/min

温控系统:温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能、50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1℃

流量规格:0.3~3L/min

控制精度:±5%

极限真空:6.0×10-5Pa

工作真空:7.6×10-4Pa

测温元件:B型双铂铑热电偶

电压:AC220V 50/60Hz

功率:6KW

尺寸:高温管式炉:660*580*910mm、混气移动工作台:800*540*720mm

可选配件:多路浮子或质子混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等

供气系统

质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜*大可以承重1000Lbs,各通道气路的流量设定和状态显示都集中在触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

· 标准量程:100sccm、200sccm、200sccm、500sccm(可以定制量程与数量)

· 质量流量控制器:

(1)工作电压:AC 220V/50HZ

(2)工作温度:5-45℃

(3)工作压强:3×106 Pa

(4)*大输出功率:23W

(5)精度:±1.5%FS

(6)线性:±(0.5-1.5)%F.S

(7)重复精度:±0.2%F.S

(8)响应时间:气特性:1-4 Sec,电特性:10 Sec

(9)工作压差范围:0.1-0.5 MPa

· PLC触摸屏:

各通道的气路设定和查看都集中在触摸屏上,可以选配RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

· 机械压力表:量程范围:-0.1-0.15MPa

· 针阀:316不锈钢

· 管件:内部连接管道为1/4〞聚四氟管,外部通气管道为1/4〞聚四氟管

· 气体混料罐:Φ80×120mm

· 截止阀:316不锈钢针阀Φ1/4〞

· 产品规格: 600×745×700mm


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