洛阳西格马高温电炉有限公司
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热门关键词: 1700℃单温区三通道混气CVD系统 1700℃单温区三通道混气CVD系统
| 电炉名称 | 1700℃单温区三通道混气CVD系统 | |
| 管式炉结构 |
采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C. 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失 内炉膛表面涂有质高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 |
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| 加热元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | |
| 额定工作温度 | 1700℃ | |
| 额定升温速率 | 5℃/min | |
| 额定降温速率 | 5℃/min | |
| 加热区长度 | 455mm (18") | |
| 恒温区长度 |
150(+/-1℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。 |
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| 温控系统 |
一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR 可设置30段升降温程序 控温仪表操作视频 带有过热和断偶保护 |
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| 控温精度 | +/-1℃ | |
| 炉管材质和尺寸 |
99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管 （标配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length （选配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length |
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| 密封法兰 |
两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配）和阀门 通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr 泄漏率额定6 mtorr/min |
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| 输入电源 | AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：额定5KW | |
| 真空泵和配件 | 真空泵 |
一个双旋片式机械泵安装在移动架内 通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr |
| 配件 |
标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4"的软管接头 一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍 可选：本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 |
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| 气体流量计 |
3个浮子流量计（精度度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体 一第路气体流量范围为10/100 cc/min 第二路气体流量范围为16/160 cc/min 第三路气体流量范围为25-250 cc/min 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力 四个不锈钢针阀安装在前面板上 |
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