智能Plasma增强CVD系统
智能Plasma增强CVD系统
该款设备是智能型Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以低压条件下实现工艺,PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,很好的解决了传统等离子工作不稳定状态。
本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
智能Plasma增强CVD系统生产厂家哪家好? 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产,产品有智能Plasma增强CVD系统、高温电炉、管式电炉、箱式电炉、真空气氛炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。