PECVD系统
小型PECVD系统为实验室用等离子体增强化学气相沉积设备。
PECVD设备通常由等离子体源、反应腔、真空系统、基板加热器、自动化控制系统、气体供应系统等组件构成。等离子体源可以是微波或射频电源等能量源。
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