小型PECVD系统
小型PECVD系统为实验室用等离子体增强化学气相沉积设备。
PECVD设备通常由等离子体源、反应腔、真空系统、基板加热器、自动化控制系统、气体供应系统等组件构成。等离子体源可以是微波或射频电源等能量源。
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小型PECVD系统生产厂家哪家好？ 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产，产品有小型PECVD系统、高温电炉、管式电炉、箱式电炉、真空气氛炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。
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