PECVD等离子体增强化学气相沉积系统
PECVD等离子体增强化学气相沉积系统
PECVD利用低温等离子体在低气压下诱导工艺室的阴极产生辉光放电。这种放电可以将样品加热到预定温度，然后引入工艺气体。气体在等离子体的作用下发生一系列化学和等离子反应，在样品表面形成一层固体薄膜。
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化学气相沉积系统生产厂家哪家好？ 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产，产品有化学气相沉积系统、高温电炉、管式电炉、箱式电炉、真空气氛炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。
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