CVD气相沉积系统
二硫化钼CVD气相沉积系统
二硫化钼CVD系统能够实现大面积薄膜制备，但设备复杂且成本较高。系统包括双温区管式炉、硫粉预热器、质量流量计供气系统和机械式真空泵等组成部件。
系统采用耐腐蚀电阻电容复合真空计，能够在1000Pa以上测量不受气体种类影响，并且耐硫蒸气腐蚀。
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