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1200℃开启式双温区管式炉
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1200℃开启式双温区管式炉

1200℃开启式双温区管式炉设计温度为1200℃,加热温度可达到1200℃,具有2个温区,每个温区可通过调节两个独立的控温程序,使炉管内温度场形成一梯度。采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

1200℃开启式双温区管式炉可用CVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜。


技术参数

1、炉管材质:高纯石英管

2、炉管尺寸:

外径Ø50mm,内径Ø44mm,长1000mm

外径Ø60mm,内径Ø54mm,长1000mm

外径Ø80mm,内径Ø74mm,长1000mm

外径Ø100mm,内径Ø94mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆

4、温区:2个

5、加热区域:400mm(200mm+200mm)

6、设计温度:1200℃

7、连续工作:1100℃

8、升降温速率:20℃/min

9、控温精度:±1℃

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、电源:AC220V 50Hz/60Hz 4KW


安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头)
4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要

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