双管气相沉积管式炉
- 系列:SGM
- 别称:
- 温度:
- 规格:
- 类型:高温管式炉
气相沉积是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
双管气相沉积管式炉具有两个炉管
生产厂家哪家好? 洛阳西格马高温电炉有限公司多年来致力于高温设备研发生产,积累了丰富的行业经验和技术实力。产品有高温电炉、、真空气氛炉、管式电炉、箱式电炉、气氛烧结炉、高温真空炉等。可根据客户需求提供个性化定制解决方案。
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