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双管气相沉积管式炉
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双管气相沉积管式炉

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    气相沉积是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
    双管气相沉积管式炉具有两个炉管
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