1200度石英管管式炉\实验室用管式炉-洛阳西格马高温电炉

1200度石英管管式炉\实验室用管式炉

  • 品牌:SGM
  • 类型:高温电炉系列
  • 温度:
  • 规格:

产品详情

1200度石英管管式炉采是由洛阳西格马高温电炉生产的管式电阻炉,1200度石英管管式炉采用石英炉管,管径20~300mm可按需定制。双O圈密封结构搭配不同的真空机组获得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法兰总成可增强其扩展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系统。

使用温度范围:300~1200℃    温度控制精度:±1℃      管径:φ25~φ100

主要用途:

高温管式炉提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体、纳米技术、等纤维等领域;可扩展性强,搭配不同的接口和真空系统及其他附件可组成不同用途的实验平台,既是基础组件也是核心组件。

管式炉主要特点:

双层钣金间的排温风扇能有效有效保护炉体表面温升低于50℃;

炉盖开启自动断电、超温保护功能、漏电保护功能,以确保使用的安全性

程序控温系统,可规划多条曲线,可编程30段程序控温

电路采用连续加热输出方式,双回路供电,强弱电单走线提高了系统的稳定性

加热模块采用直流信号调节输出功率,避免了感应电对控制信号的干扰

操作按键选用低压金属按钮,自带状态指示灯,操作安全直观

安全性:过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。

管式炉主要技术参数:

性能数据 电炉名称 SGM  1200℃真空管式炉
炉管 φ50/44*1000 φ60/54*1000 φ80/74*1000
加热区

加热区长400~440mm,恒温区约(±2℃)150mm(可个性定制管径和加热区长度)。

SGM 1200管式炉在1000℃保温1H时温场曲线图:(0点为温区中点及热电偶所在位置)

外形:
L*W*H(mm)
1000*420*520(约)
额定温度(℃) 1200

工作温度(℃)

1100
功率(Kw) 3
电压(V) 220
升温速率

推荐:10℃/min;额定20℃/min

部件与结构 温控仪表

1、默认标配宇电AI智能控温仪表,可选配:日本岛电FP93温控仪表、欧陆仪表、触摸屏仪表、云端监控仪表、其他仪表(。

2、具备30段曲线升温功能(斜率升温),可规划多条曲线,满足复杂工艺;

3、具备PID智能调节功能,可控硅移相触发(调压);

4、具有过温保护、断偶保护功能,可在过温或断偶时自动切断电炉加热电路;

5、可配备RS485、RS232通讯接口。可选购软件与PC连接;

6、具备自整定功能。

控温精度 ±1℃
加热元件 OCr27A17Mo2 ;预埋式电阻丝(半露)
热电偶

1、默认K分度号;可选N分度号或其他分度号热电偶;

2、可增加管内测温热电偶。

炉膛耐材和结构

1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、对开式炉膛,有利于炉管的装卸,也可用于观察物料变化或快速冷却。

钣金结构 带风机强制对流的双层壳体结构
主控元件 可控硅
开盖断电 上下炉膛间安装行程开关(或光电感应开关)炉门打开时切断加热电路。
过流保护 电炉主回路上装有断路器,当加热电流过大超过断路器额定电流时,会断路,能有效保护电路
管堵和密封结构

1、设备包含了2个氧化铝管堵,在管式炉使用前将管堵装入管内至加热区端点,能有效降低管内热辐射,有利于恒温区的形成,且对法兰和O圈有良好的保护作用;

2、可选购更加洁净的石英管堵,其更适合高真空系统;

3、设备包含了基础的气路总成,一般炉管两端均配有不锈钢法兰(含机械压力表,针阀、软管接头等)

4、可根据需要选购波纹连接管、数显真空计。

5、可选KF25接口以获得较快抽气速率,可选双卡套接头以连接供气系统

6、可选装卡箍式快装法兰,折页法兰,滑动法兰,水冷法兰,带观察窗的法兰,以及聚四氟乙烯法兰等;点此了解

如图:(基本的管式炉管堵和法兰安装示意图);

真空系统(选购)
 

多种真空机组供您选择:

1、一般粗略抽真空、置换气体洗炉管时:TW-1.5A单级泵可满足使用需求。

2、双极旋片机械泵:10^-2 torr,2XZ-2 真空泵能够把管式炉炉管的真空度抽到10Pa左右。

3、分子泵机组:10^-5 torr

4、英国(INFICON)电容真空计(测量范围3.8x10-5 /1125 Torr、可检测各种气体,包括混合气体,测量精度、重复性好、可选防腐类型PCG554)

供气系统(选购)

1、转子流量计供气系统

2、质量流量控制器供气系统

3、辅助供气配件:鼓泡器、液态蒸发器等


服务与支持

售前咨询

1、按客户技术要求为您提供选型服务;

2、按客户实验目的提供推荐服务;

3、客户无法提供需求时,可为客户提供预约实验服务(点此了解),先试验后购买。

售中服务

1、为客户提供实时生产进度汇报服务;

2、发货追踪服务;

3、建立设备档案生成的可溯源身份编号,记录其生产工艺,用料,配件等信息。

售后服务

1、安装和操作指导;

2、可选购的上门服务;

3、配件供应服务(点此查看)。

质保服务

电炉保修一年,并提供终身技术支持和维护服务;

特别提示:

1、加热元件不在保修范围内(点此了解各种炉膛加热元件的更换特点)。

2、石英配件,样品坩埚等易损件不在保修范围内;

3、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

管式炉注意事项

1、炉管内气压不可高于0.02MPa;

2、使用气瓶向炉管内通入气体时,为了确保安全,气瓶上必须安装减压阀,建议使用压力低于0.02MPa;

3、炉管为石英管时,炉内温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压应和大气压相当;

4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击;

5、对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。

 


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