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颗粒悬浮立式管式炉又称为流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验，炉管为高纯石英管，炉管内部嵌有一多孔石英板，石英板的孔径为5/15um.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。
立式管式炉烧结的粉末放置在砂芯层上，气体从炉管下端法兰处通入，通过砂芯层使样品颗粒在气流的带动下悬浮在加热区域（一般稳定在恒温区内），进行沉积实验。
颗粒悬浮立式管式炉是一款小型开启式立式管式炉，其炉管直径为φ30mm、50mm、80mm可选，适合于对样品在真空或气氛保护环境下吊烧和淬火。如果选用不同的配件与装置搭配，其也可以当作一款流化床立式管式炉来使用，可专门针对粉末表面沉积的CVD实验，此时，在高纯石英炉管内部嵌有石英砂芯，其孔径在5/15um内。烧结的粉末放置在砂芯层上，气体从炉管下端法兰处通入，通过砂芯层使样品颗粒在气流的带动下悬浮在加热区域（一般稳定在恒温区内），进行沉积实验。
洛阳西格马可生产1200℃带超声雾化的流化床CVD管式炉系统、卧式流化床炉、立式流化床炉。

SGM 三温区立式管式炉

立式管式炉主要用途：

　　颗粒悬浮立式管式炉是一款流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区，固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内

　　颗粒悬浮立式管式炉的炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。

　　注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等

立式管式炉结构特点：

炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单定制。.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验
流化床立式管式炉是门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等

颗粒悬浮立式管式炉技术参数

颗粒悬浮立式管式炉使用注意事项：

1、炉管内气压不可高于0.02MPa

2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全

3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

5、石英管的长时间使用温度＜1100℃

6、由对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等