混气系统：多通道质子流量计控制系统-洛阳西格马高温电炉
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混气系统：多通道质子流量计控制系统

  • 品牌：SGM
  • 类型：高温电炉系列
  • 温度：
  • 规格：双温区、三温区、四温区、五温区

产品详情

多路质量流量计控制系统的质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
洛阳西格马高温电炉多路质量流量计控制系统产品有双通道质量流量计控制系统、三通道质量流量计控制系统、四通道质量流量计控制系统、五通道质量流量计控制系统。

多路质量流量计控制系统特点

1、气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2、混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3、每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4、该气路采用高精度气体质子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5、所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

多路质量流量计控制系统技术参数

功能

双通道质量流量计控制系统

三通道质量流量计控制系统

四通道质量流量计控制系统

五通道质量流量计控制系统

质子
量控制器

工作温度：5~45ºC 
压力:3x106 Pa 
精度: ±1.5% FS 
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，
需定制

工作温度：5~45 ºC
压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，
需定制

工作温度: 5~45 ºC
压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，
需定制

工作温度: 5~45 ºC
压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制
输入电源 AC 220V/50Hz单相

功率

23W

PLC触摸屏

 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制

机械压力表

 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

 内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

 316不锈钢针阀
Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

 

CE认证

质保期

一年质保期，终身维护

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CVD & PECVD 管式炉（双温区、三温区等多温区管式炉）


 

供气系统的可配置：

1、质子流量计：4个

2、压力表：1个

3、截止阀门：5个

4、穿板接头：5个

5、阀门接头：2个

6、钢瓶接头:4个

7、聚四氟乙烯管：20M

8、混气罐：1个

9、炉架：1台
 

质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

主要指标:

量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意选择量程）

准确度：±1.5%F.S

线性：±0.5～1.5%F.S

重复精度：±0.2%F.S

响应时间：10S

气压降：<0.01MPa

额定压力：3MP

工作环境温度：5～45℃

输入输出信号：0～+5.00V

电源：+15V50mA/15V50mA

外形尺寸：158*30*110


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