蓝宝石晶体生长炉又称蓝宝石单晶体生长炉,洛阳西格马可生产全自动晶体生长炉、晶体提拉炉、晶体高温炉、晶体生长炉、结晶炉。
蓝宝石晶体生长炉主要用作晶体材料的结晶生长。本系列产品在各温度环境下,可以分别实现坩埚上升法、提拉法、泡生法等多种晶体生长工艺,并可通简易气氛(氮气、惰性气体)。
二、蓝宝石晶体生长炉产品结构
蓝宝石晶体生长炉包括生长炉体、加热系统、坩埚、隔热材料、密封机构、升降机构、晶籽棒、真空系统、水冷系统、控制系统、测温系统等。三、蓝宝石晶体生长炉技术特点
蓝宝石晶体生长炉是洛阳西格马高温电炉公司自行研制开发的高性能新型特种电炉,采用多段可编程式温度控制器全过程自动控制温度,产品结构新颖,操作简便,综合性能指标较高,处于国内水平,是不错的晶体生产装备。
1)采用ZrB2陶瓷-石墨组合加热体,可提供2200℃的高温,与传统的石墨加热体电阻炉和钼丝炉相比,节能50%以上;
2)升温速度快,升至2200℃仅需250分钟。
3)热电偶采用ZrB2复合陶瓷温度传感器或者是ZrC复合陶瓷温度传感器,提高了测温的精度高;
4)炉体内分隔成四个温度场,通过热电偶监测四个温度场的温度并进行调节,以使其具有较的温度梯度,从而准确控制固液界面温度,提高晶体生长的较热场方式,进而找到晶体生长较途径,以利于提高晶体生长速度和晶体生长质量;
5)通过坩埚升降装置和籽晶棒升降装置配合,使得坩埚内氧化铝熔体的液面(即晶体生长部位)始终保持在一个位置,以便于精度控制其温度,从而利于晶体的生长。
产品型号 |
升降比 |
坩埚尺寸mm |
额定温度 |
功率 |
重量 |
速质比 |
SGM.AF40/20 |
1.01-1.08 |
Ø200*350 |
400-600℃ |
12KW |
20kg |
80/90% |
SGM.AF70/35 |
1.01-1.08 |
Ø250*400 |
400-600℃ |
15KW |
35kg |
80/90% |
SGM.AF120/55 |
1.01-1.08 |
Ø300*450 |
400-600℃ |
18KW |
55kg |
80/90% |
SGM.AF180/90 |
1.01-1.08 |
Ø350*500 |
400-600℃ |
20KW |
90kg |
80/90% |
SGM.AF250/140 |
1.01-1.08 |
Ø400*550 |
400-600℃ |
25KW |
140kg |
80/90% |
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