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RTP快速热处理退火炉\快速升温管式炉

什么炉子升温速度比较快?

RTP快速热处理退火炉为洛阳西格马高温电炉生产的快速升温管式炉,又称快速升温退火炉。RTP快速热处理退火炉采用快速热处理退火炉加热,温度可达1000度。该炉可采用圆形或对开式设计,炉体采用双层壳体结构,炉膛采用日本进口氧化铝多晶体纤维材料,由于较大升温速率可达到50℃/s,可以对基片薄膜进行快速退货处理,炉内装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源。

快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在原有生产制造工艺的基础上不断改进,现已自主研发了该款产品。不但拥有非常快的升温速率 100℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,退火炉在绿色节能的基础上实现了试样的快速升降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是 CVD 法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,确认试样温度的准确性。

快速热处理退火炉

电炉名称 RTP快速热处理退火炉

加热元件

12根碘钨灯管

控温方式

采用日本岛电或英国欧陆Eurotherm、厦门宇电温控仪表,智能温控,多段编程,温度反应更快、控温更加灵敏。

炉膛材料

1、真空吸滤成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

较高温度

≤1000℃

加热段长度

240mm

升温速率

≤50℃/ S(可根据要求修改)

热电偶型号

K型

四周表面温度

≤45℃

开盖保护系统

当炉盖打开时继电器会自动切断主电源,有效地保证使用者的安全。


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