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1200℃自动RTP快速升温管式炉

SGM1200℃自动RTP快速升温管式炉为洛阳西格马高温电炉生产的快速升温管式炉,RTP快速升温管式炉特点就是升温速度快,30℃/S。RTP快速升温管式炉可采用圆形或对开式设计,炉体采用双层壳体结构,炉膛采用日本进口氧化铝多晶体纤维材料,由于较大升温速率可达到50℃/s,可以对基片薄膜进行快速退货处理,炉内装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源。

1200℃自动RTP快速升温管式炉主要技术参数:

  电炉名称 SGM-1200C-RTP-180

温度控制

额定温度点

1200℃

额定温度

1100℃

稳定状态温度范围

100~1050℃

温度测量精度

±0.2℃

温度控制重复性

±1℃

温度控制*度

±1℃

温场均匀性

±2℃

温度状态工艺时间

2~100(100~1050℃)

*快升温速率

30℃/S(可根据客户需求定制)

降温速率

1~300,可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时启动流量计阀控控制气体冷却

温度控制模式

智能模糊全闭环控制

 

触摸屏尺寸

7"LCD 工控电脑

物理指标

*大功率(KW)

24

额定电压

220V/AC380~400V 50-60HZ 自动匹配

传感器类型

K型

反应腔室内径尺寸

Φ180×580

式样有效空间

6''

抽气端口尺寸

KF25

供气口尺寸

Φ6mm双卡套

冷却方式

自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2)

外形净尺寸

长920×深500×高560mm

重量

约80Kg


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